微機電系統概論

 
課程簡介: 
本課程介紹微細加工與X光深刻模造術,並強調目前在民生產業之應用與衝擊,包括噴墨印表,壓力計,投影機,加速度計等.
 
單元名稱 課程名稱
第8章-微致動器技術 微機電系統概論
第7章-微感測器技術2 微機電系統概論
第7章-微感測器技術1 微機電系統概論
第6章-高分子微機電技術2 微機電系統概論
第6章-高分子微機電技術1 微機電系統概論
第5章-高深寬比微加工技術 微機電系統概論
第4章-金氧半微機電技術 微機電系統概論
第3章-矽質微細加工2 微機電系統概論
第3章-矽質微細加工1 微機電系統概論
第2章-半導體製程與設備 微機電系統概論
第1章-微機電系統技術之簡介 微機電系統概論
機電系
楊龍杰